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北京杰瑞晟欣科技有限公司
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液體小量程質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品編號(hào)
數(shù)量
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產(chǎn)品描述
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)選型

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TSK521質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。TSK521系列氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)(以下稱MFC/MFM)通過(guò)測(cè)量層流元件的差壓、壓力、溫度來(lái)計(jì)算流量,這種測(cè)量方式具有固有的線性,重復(fù)性好,高精度,無(wú)需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn)。本產(chǎn)品可以同時(shí)測(cè)量4種參數(shù):氣體的瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、溫度和絕壓,并且可以同時(shí)顯示和輸出。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

技術(shù)特點(diǎn)

1、采用差壓式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理,便于更改量程,安裝簡(jiǎn)易。
3、良好的傳感器封裝,減少外部溫度變化的敏感性。
4、測(cè)量和控制的量程范圍大,最大滿量程可達(dá)30ln/min(N2當(dāng)量)或2kg/min(H2O當(dāng)量)
5、預(yù)熱時(shí)間短、零飄小、測(cè)量和控制精度高,適用于微小流量的測(cè)量和控制。
6、可通過(guò)二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊,操作簡(jiǎn)單。
7、可直接與上位機(jī)連接,實(shí)現(xiàn)組網(wǎng),便于操作。

未找到相應(yīng)參數(shù)組,請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加

技術(shù)參數(shù)

量 程:0…3 0ln/min (N2當(dāng)量)
0...2kg/m in (H2O當(dāng)量)
準(zhǔn) 確 度:±1.0%F.S
量 程 比:50:1
重復(fù)精度:±0.2%F.S
線性精度:±0.5%F.S
響應(yīng)時(shí)間:1…4sec
穩(wěn) 定 性:±0.1%F.S
環(huán)境溫度:5…45℃
溫度系數(shù):<±0.1%F.S/℃
泄 漏 率:<2×10 -8atm.ml/s(He)
預(yù)熱時(shí)間:15min
供 電:+15 …24vdc
模擬信號(hào):0…5vdc或4…20mA
數(shù)字信號(hào):RS232 RS485(Modbu s-RTU) 液晶顯示
本體材質(zhì):SS316不銹鋼
最大耐壓:30bar
連接方式:卡套式連接(可選螺紋連接 面密封VC R或其他連接方式)

技術(shù)選型

序 列 號(hào): TSK521
產(chǎn)品類型: 【C】質(zhì)量流量控制器
耐壓等級(jí): 【L】低耐壓 30bar
介質(zhì)類型: 由廠家選擇
流量范圍: 【005g】5g/min 【010g】10g/min 【100g】100g/min
                  【500g】500g/min 【001k】1kg/min 【2kg 】2kg/min
被測(cè)介質(zhì): 由廠家選擇
供電類型: 【S】24vdc 
模擬信號(hào): 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA
數(shù)字信號(hào): 【X】本地顯示  【R】RS232  【M】RS485(Modbus-RTU)
密封材質(zhì): 【V】氟橡膠 【T】EPDM 【N】氯丁橡膠 【B】丁晴橡膠 【Y】其他
接頭尺寸: 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8” 【H】1/4” 【Y】其他

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